|
Главная :: Архив статей :: |
Наши друзья Помощь сайту R935344738975 Наша кнопка Партнеры |
Главная страница > Архив новостей Без гравитации размножаться затруднительно
Работающие в NASA специалисты по космической медицине получили доказательства того, что гравитация могла сыграть очень важную роль в эволюции жизни на Земле. Их исследования показали, что способность живых организмов к зачатию зависит от силы тяжести, и сам процесс зачатия протекает в невесомости не так как на Земле. Правда, до опытов на людях дело не дошло, экспериментируют пока на морских ежах.
С сайта "Россия-Он-Лайн".
Матрица наноотверстий на кремнииПри разработке СБИС с размерами деталей в диапазоне менее 100нм большое внимание привлекают методы самоорганизации. Сотрудники из университета Хиросимы научились получать упорядоченно нанопористую пленку окиси алюминия на подложке кремния и решили следующую задачу — перенос в кремний матрицы нанопор с плотностью ~1010см-2методом реактивного ионного травления. Далее представлены технологические этапы. На подложку кремния со слоемSiO2толщиной 10нм катодным распылением наносится слой чистого алюминия (99.999%). Отмечено, что упорядоченность структуры нанопор улучшается в процессе окисления, поэтому исходная толщина алюминия составляла 20мкм. Проводится первый этап анодного окисления при концентрации щавелевой кислоты 0.15M/л, напряжении 40В и температуре 3°С до остаточной толщиныAl1000нм. Затем вся пористая окись алюминия удаляется в смеси жидких кислотHFиH3PO4. Поверхность оставшегося алюминия имеет упорядоченную шероховатость в виде донной оконечности микропор. Поэтому второй этап окисления оставшейся пленкиAlпроисходит с хорошей самоорганизацией системы микропор до упора вSiO2.Диаметр нанопор 25нм с расстоянием меж ними 90нм. Для успеха последующего сухого травления поперечник пор немного увеличивали травлением в разбавленной фосфорной кислоте (~до 36нм), так что стенки из окиси алюминия между порами и на дне имеют толщину 50нм и 30нм, соответственно, а аспектное соотношение в геометрии пор составляет 2-5. На рисунке схематически показан вид подложки перед реактивным ионным травлением в плазме хлора. В матрице каждый ряд пор смещен относительно соседей на полпериода. СлоиAl2O3иSiO2на дне удаляются ВЧ-плазменным травлением в хлоре. Затем 5 мин травится кремний при постоянном смещении более -400В и 30мТорр хлора. При толщинахAl2O3200, 150, 130 и 50нм образуются нанопоры с аспектным отношением 5, 3.8, 3.2 и 1.3, соответственно. После удаленияAl2O3на дне пор кремний травится быстро. Отмечено, что с увеличением аспектного отношения (АО= 1, 2, 3) наблюдается уменьшение видимого диаметра порыd=30, 20 и 13нм (при исходном диаметре 45нм). Такое поведение объясняется тем, что при высоком потенциале (около -530В) вместе с химическим травлением происходит физическое распыление. При травленииAl2O3в хлорной плазме образуются нелетучие соединенияAlClxиAlOx. В порах с большим аспектным отношением выход этого потока затруднен, и они успевают осесть на стенках, сужая пору. Предполагается, что система наноотверстий в кремнии может служить формой для осаждения системы полевых эмиттеров из алмаза или вольфрама с высокой плотностью расположения. J. Vac. Sci. Technol. B, 2001, 19(5), pp.1901-1904 PERST add red. lenty
Главная :: Архив статей :: |